Halbleiter-materieller Oberflächenfehler-Detektor
Anwendungen
Für das prozesskontrollierte und das Ertragsmanagement der leeren Maske auf den Gebieten der Halbleiteranzeige und
Chipherstellung der integrierten Schaltung, setzen wir optische Prüfungstechnologien des hohen Durchsatzes ein, um schnell zu machen und
genaue automatische Entdeckung für die Oberflächenfehler der leeren Maske. Entsprechend Berufsnutzerbedarfen
wir haben Reihe hohen Durchsatz MASKIEREN Inspektionsmaschinen mit zuverlässiger Qualität und hohen Kosten entwickelt
Leistungsverhältnis, Glassubstrat-, Masken- und Plattenherstellern helfen zu identifizieren und die Maske überwachen
Defekte, verringern das Risiko des Ertrags und ihre unabhängige Fähigkeit von R&D für Kerntechnologien zu verbessern.
Funktions-Prinzip
In Bezug auf Niveau und Art des Oberflächenfehlers, der telecentric Linse 4x, des spezifischen Winkelringlichtes und des Koaxiallichtes
Quelle werden als die Sichtannäherung vorgewählt. Wenn das Gerät läuft, bewegt sich die Probe entlang das X
Richtung und das Visionsmodul führt Defektentdeckung entlang der y-Richtung durch.
Eigenschaften
| Modell | SDD0.5-0.5 | |
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Leistungsentdeckung |
Nachweisbare Defektart | Kratzer, wischt ab |
| Nachweisbare Defektgröße | 1μm | |
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Entdeckungsgenauigkeit (gemessen) |
Entdeckung 100% von Defekten/Sammlung von Defekte (Kratzer, Staub) |
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| Entdeckungs-Leistungsfähigkeit |
Minuten ≤10 (Messwert: 350mm x 300mm Maske) |
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Optische Systemleistung |
Entschließung | 1.8μm |
| Lineare Wiedergabe | 40x | |
| Sichtfeld | 0.5mm x 0.5mm | |
| Blaulichtbeleuchtung | 460nm, 2.5w | |
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Bewegungs-Plattform-Leistung
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X, y-Zweiachsenbewegung Marmorcountertopflachheit: 2.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤ 10.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤8.5μm
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| Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. | ||
Entdeckungs-Bilder
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
Teile unserer Preise und Qualifikationen von R&D
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
