Halbleiter-Oberflächendetektor-System-optisches Testgerät 40x
Anwendungen
Für das prozesskontrollierte und das Ertragsmanagement der leeren Maske auf den Gebieten der Halbleiteranzeige und
Chipherstellung der integrierten Schaltung, setzen wir optische Prüfungstechnologien des hohen Durchsatzes ein, um schnell zu machen und
genaue automatische Entdeckung für die Oberflächenfehler der leeren Maske. Entsprechend Berufsnutzerbedarfen
wir haben Reihe hohen Durchsatz MASKIEREN Inspektionsmaschinen mit zuverlässiger Qualität und hohen Kosten entwickelt
Leistungsverhältnis, Glassubstrat-, Masken- und Plattenherstellern helfen zu identifizieren und die Maske überwachen
Defekte, verringern das Risiko des Ertrags und ihre unabhängige Fähigkeit von R&D für Kerntechnologien zu verbessern.
Funktions-Prinzip
In Bezug auf Niveau und Art des Oberflächenfehlers, der telecentric Linse 4x, des spezifischen Winkelringlichtes und des Koaxiallichtes
Quelle werden als die Sichtannäherung vorgewählt. Wenn das Gerät läuft, bewegt sich die Probe entlang das X
Richtung und das Visionsmodul führt Defektentdeckung entlang der y-Richtung durch.
Eigenschaften
| Modell | SDD0.5-0.5 | |
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Leistungsentdeckung |
Nachweisbare Defektart | Kratzer, wischt ab |
| Nachweisbare Defektgröße | 1μm | |
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Entdeckungsgenauigkeit (gemessen) |
Entdeckung 100% von Defekten/Sammlung von Defekte (Kratzer, Staub) |
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| Entdeckungs-Leistungsfähigkeit |
Minuten ≤10 (Messwert: 350mm x 300mm Maske) |
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Optische Systemleistung |
Entschließung | 1.8μm |
| Lineare Wiedergabe | 40x | |
| Sichtfeld | 0.5mm x 0.5mm | |
| Blaulichtbeleuchtung | 460nm, 2.5w | |
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Bewegungs-Plattform-Leistung
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X, y-Zweiachsenbewegung Marmorcountertopflachheit: 2.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤ 10.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤8.5μm
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| Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. | ||
Entdeckungs-Bilder
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
Teile unserer Preise und Qualifikationen von R&D
ZEIT-Gruppe, im Jahre 2018 gegründet, ist eine Firma, die auf Präzisionsoptik, Halbleitermaterialien und High-Teche Intelligenzausrüstungen gerichtet wird. Basiert auf unseren Vorteilen in der Präzisionsbearbeitung des Kernes und des Schirmes, hat optische Entdeckung und Beschichtung, ZEIT-Gruppe unsere Kunden mit kompletten Paketen von kundengebundenen und Standardproduktlösungen versehen.
Konzentriert auf technologische Innovationen, hat ZEIT-Gruppe mehr als 60 inländische Patente bis 2022 und stellte die sehr nahe Unternehmen-Collegeforschungszusammenarbeit mit Instituten, Universitäten und Industrieverband weltweit her. Durch Innovationen ist selbst-eigenes geistiges Eigentum und das Aufbauen der experimentellen Teams des Schlüsselprozesses, ZEIT-Gruppe eine Entwicklungsbasis für Ausbrütenhigh-tech-produkte und eine Ausbildungsbasis für Spitzenpersonal geworden.
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
