Anzeigetafel Oberflächendefektdetektor
Anwendungen
Bei der Prozesskontrolle und dem Yield-Management der Display-Fertigung können wir Herstellern dabei helfen
Identifizieren und überwachen Sie die Maskendefekte, reduzieren Sie das Ertragsrisiko und verbessern Sie ihre unabhängige F&E-Fähigkeit für
Kerntechnologien.
Arbeitsprinzip
Als visueller Ansatz werden 4-fach telezentrisches Objektiv, Ringlicht mit spezifischem Winkel und koaxiale Lichtquelle ausgewählt
die Defektpositionen automatisch lokalisieren, um die Defekte auf der Maskenoberfläche automatisch zu erkennen.
Merkmale
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Modell |
SDD-DP-X—X | |
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Leistungserkennung |
Erkennbarer Fehlertyp | Kratzer, Staub |
| Erkennbare Defektgröße | 1μm | |
| Erkennungsgenauigkeit (gemessen) |
100% Mängelerkennung / Abholung Defekte(Kratzer, Staub) |
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| Erkennungseffizienz |
≤10 Minuten (Messwert: 350 mm x 300 mm Maske) |
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Leistung des optischen Systems |
Auflösung | 1,8 μm |
| Vergrößerung | 40x | |
| Sichtfeld | 0,5 mm x 0,5 mm | |
| Blaulichtbeleuchtung | 460 nm, 2,5 W | |
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Leistung der Bewegungsplattform
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X, Y-Zweiachsenbewegung Ebenheit der Marmorarbeitsplatte: 2,5 μm Rundlaufgenauigkeit der Y-Achse in Z-Richtung: ≤ 10,5 μm Rundlaufgenauigkeit der Y-Achse in Z-Richtung: ≤8,5 μm |
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| Hinweis: Kundenspezifische Produktion verfügbar. | ||
Erkennungsbilder
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb von 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Zertifizierung
Teile unserer Patente
Teile unserer Auszeichnungen und Qualifikationen von F&E
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
