Glassubstrat-Oberflächenfehlerdetektor
Anwendungen
Für das prozesskontrollierte und das Ertragsmanagement der Glassubstratherstellung, können wir Herstellern zu helfen
identifizieren Sie und überwachen Sie die Maskendefekte, verringern Sie das Risiko des Ertrags und ihre unabhängige Fähigkeit von R&D für zu verbessern
Kerntechnologien.
Funktions-Prinzip
Unter Verwendung des spezifischen Winkelringlichtes, der koaxiallichtquelle und laufenden des Mechanismus, zum das Richtungs zu sammeln und zu analysieren
Fotografieinformationen, automatica Entdeckung für die Defekte auf der Glassubstratoberfläche so verwirklichend.
Eigenschaften
| Modell | SDD-GS-X-X | |
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Leistungsentdeckung |
Nachweisbare Defektart | Kratzer, wischt ab |
| Nachweisbare Defektgröße | 1μm | |
| Entdeckungsgenauigkeit (gemessen) |
Entdeckung 100% von Defekten/Sammlung von Defekte (Kratzer, Staub) |
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| Entdeckungs-Leistungsfähigkeit |
Minuten ≤10 (Messwert: 350mm x 300mm Maske) |
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Optische Systemleistung |
Entschließung | 1.8μm |
| Lineare Wiedergabe | 40x | |
| Blickfeld | 0.5mm x 0.5mm | |
| Blaulichtbeleuchtung | 460nm, 2.5w | |
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Bewegungs-Plattform-Leistung
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X, y-Zweiachsenbewegung Marmorcountertopflachheit: 2.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤ 10.5μm Y-Achsenc$z-richtungs-Durchbruchpräzision: ≤8.5μm |
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| Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. | ||
Entdeckungs-Bilder
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
Teile unserer Preise und Qualifikationen von R&D
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
