Atomlagenabscheidung in Magnetkopfindustrie
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck |
| Magnetkopf |
Isolierende Abstandsschicht mit nicht planarer Abscheidung |
Arbeitsprinzip
Atomlagenabscheidungstechnologie ist, dass die Vorläufer, die an der Reaktion beteiligt sein werden, an die geführt werden
Reaktionskammer sequentiell (jeweils ein Vorläufer) durch verschiedene Vorläuferleitungen.Mittels Sättigung
Chemisorption auf der Substratoberfläche wird jeweils nur eine Schicht des Vorläufers adsorbiert.Die überschüssigen Vorläufer
und Nebenprodukte werden durch Inertgase Ar oder N ausgespült2Selbstbegrenzung zu erreichen.
Merkmale
| Modell | ALD-MH-X—X |
| Filmsystem beschichten | AL2Ö3,TiO2,ZnO usw |
| Beschichtungstemperaturbereich | Normaltemperatur bis 500℃ (anpassbar) |
| Größe der Beschichtungsvakuumkammer |
Innendurchmesser: 1200 mm, Höhe: 500 mm (anpassbar) |
| Vakuumkammerstruktur | Entsprechend den Anforderungen des Kunden |
| Vakuum im Hintergrund | <5×10-7Millibar |
| Schichtdicke | ≥0,15nm |
| Präzision der Dickenkontrolle | ±0,1 nm |
| Beschichtungsgröße | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200mm² usw |
| Gleichmäßigkeit der Filmdicke | ≤ ± 0,5 % |
| Vorläufer- und Trägergas |
Trimethylaluminium, Titantetrachlorid, Diethylzink, reines Wasser, Stickstoff usw. |
| Hinweis: Kundenspezifische Produktion verfügbar. | |
Beschichtungsmuster
Prozessschritte
→ Legen Sie das zu beschichtende Substrat in die Vakuumkammer;
→ Die Vakuumkammer bei hoher und niedriger Temperatur vakuumieren und das Substrat synchron drehen;
→ Beschichtung starten: das Substrat wird nacheinander und ohne gleichzeitige Reaktion mit Precursor kontaktiert;
→ Nach jeder Reaktion mit hochreinem Stickstoffgas spülen;
→ Hören Sie auf, das Substrat zu drehen, nachdem die Filmdicke den Standard erreicht hat und der Spül- und Kühlvorgang abgeschlossen ist
abgeschlossen ist, dann nehmen Sie das Substrat heraus, nachdem die Vakuumunterbrechungsbedingungen erfüllt sind.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb von 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Zertifizierung
Teile unserer Patente
Teile unserer Auszeichnungen und Qualifikationen von F&E
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
