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Dielectric Films Optical Coating Equipment PVD Magnetron Sputter Deposition Machine

Dielektrische Filme Optische Beschichtungsausrüstung PVD-Magnetron-Sputter-Abscheidungsmaschine

  • Markieren

    ZEIT-Nichtleiter filmt optische beschichtende Ausrüstung

    ,

    ZEIT-Nichtleiter filmt PVD-Magnetron spritzen Absetzungsmaschine

    ,

    Dielektrische Filme spritzen Absetzungsmaschine

  • Gewicht
    2500 ± 200 kg, anpassbar
  • Größe
    2800 mm * 1000 mm * 2300 mm, anpassbar
  • Vertikaler Magnetaufzeichnungsfilm
    CoCr
  • Zielmaterial
    4 x 4 Zoll (kompatibel mit 4 Zoll und darunter)
  • Prozessgas
    Ar, N2, O2
  • Anstrichschichtdicke
    ≥10nm
  • Substratträger
    Mit Planetendrehmechanismus
  • Modell
    MSC700-750-700
  • Marke
    ZEIT
  • Herkunftsort
    Chengdu, VR CHINA
  • Markenname
    ZEIT
  • Zertifizierung
    Case by case
  • Modellnummer
    MSC700-750-700
  • Min Bestellmenge
    1 Satz
  • Preis
    Case by case
  • Verpackung Informationen
    Holzschatulle
  • Lieferzeit
    Von Fall zu Fall
  • Zahlungsbedingungen
    T/T
  • Versorgungsmaterial-Fähigkeit
    Von Fall zu Fall

Dielektrische Filme Optische Beschichtungsausrüstung PVD-Magnetron-Sputter-Abscheidungsmaschine

Nichtleiter filmt optische beschichtende Magnetron-Spritzenabsetzung Ausrüstungs-AR-N2-O2 PVD

 

Anwendungen

Anwendungen  Spezifischer Zweck  Materielle Art
Halbleiter  IC, LSIelektrode, Film verdrahtend  AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pint, PD, AG
 Vlsi-Gedächtniselektrode  MO, W, Ti
 Diffusionsbarrierefolie  MoSix, Wsix, TaSix, TiSx, W, MO, W-Ti
 Klebefilm  PZT (Pb-ZrO2-Ti), Ti, W
 Anzeige  Transparenter leitfähiger Film  ITO (In2O; - SnO2)
 Elektrodenverdrahtungsfilm   MO, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa
 Leuchtfilm

 ZnS-Mangan, ZnS-TB, CAS-Eu, Y2O3, Ta2O5,

 BaTiO3

 Magnetische Aufzeichnung  Vertikaler Film der magnetischen Aufzeichnung  CoCr
 Film für Festplatte  CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt
 Dünnfilmmagnetkopf  CoTaZr, CoCrZr
 Künstlicher Kristallfilm  Kopte, CoPd
Optische Aufnahme  Phasenänderungs-Disketten-Aufnahmefilm  TeSe, SbSe, TeGeSb, usw.
 Aufnahmefilm der magnetischen Scheibe

 TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo,

TbDyFeCo

 Reflektierender Film der optischen Speicherplatte  AI, AITi, AlCr, Au, Aulegierung
 Schutzfilm der optischen Speicherplatte  Si3N4, SiO2+ZnS
 Perowskitdünnfilmbatterie  Transparente Leitschicht  ZnO: Al
 Ärztliche Behandlung  Biocompatible Materialien  Al2O3, TiO2
 Dekorative Beschichtung  Farbiger Film, metallisierter Film  Al2O3, TiO2undalleArtenMetallfilme
 Anti-Verfärbungsbeschichtung  Edelmetallantioxidierungsbeschichtung Al2O3, TiO2
 Optische Filme  Hoch-niedriger Brechungskoeffizient  SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO-₂, HfO2
 Andere Anwendungen  Lichtdichter Film  Cr, AlSi, AlTi, usw.
 Widerstrebender Film  NiCrSi, CrSi, MoTa, usw.
 Supraleitender Film  YbaCuO, BiSrCaCuo
 Magnetfilm  F.E., Co, Ni, FeMn, FeNi, usw.

 

Eigenschaften

  Modell   MSC700-750-700
  Beschichtende Art   Verschiedene dielektrische Filme wie Metallschicht-, Metalloxid und AIN
  Beschichtende Temperaturspanne   Normale Temperatur zu 500℃ (kundengerecht)
  Beschichtende Unterdruckkammergröße   700mm*750mm*700mm (kundengerecht)
  Hintergrundvakuum   <5>-7mbar
 Anstrichschichtdicke   ≥10nm
  Stärkeregelgenauigkeit   ≤±3%
  Maximale beschichtende Größe   ≥100mm (kundengerecht)
  Dickeneinheitlichkeit   ≤±0.5%
  Substratfördermaschine   Mit planetarischem Rotationsmechanismus
  Ziel-Material   Zoll 4x4 (kompatibel mit 4 Zoll und untengenannt)
  Stromversorgung  Die Stromversorgung wie DC, Impuls, Rf, WENN und Neigung optional sind
  Prozessgas   AR, N2, O2
Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar.

                                                                                                                

Prozessschritte

→ setzen das Substrat für das Beschichten in die Unterdruckkammer;

→ vacuumize ungefähr;

→ drehen sich auf molekulare Pumpe, vacuumize mit Höchstgeschwindigkeit, dann drehen sich auf die Revolution und die Rotation;

→, welches die Unterdruckkammer erhitzt, bis die Temperatur das Ziel erreicht;

→ führen die konstante Temperaturüberwachung ein;

→ säubern Elemente;

→ rotieren und zurück zu dem Ursprung;

→ beschichtender Film entsprechend Prozessanforderungen;

→ senken Temperatur und stoppen die Pumpenversammlung, nachdem es beschichtet hat;

→ hören auf zu arbeiten, wenn die Selbsttätigkeit fertig ist.

 

Beschichtende Probe

Dielektrische Filme Optische Beschichtungsausrüstung PVD-Magnetron-Sputter-Abscheidungsmaschine 0

 

Funktions-Prinzip

Das spritzende Magnetron ist eine Art körperliches Bedampfen (PVD). Es trifft die Elektronmaßnahme in der Spirale

Wege nahe der Zieloberfläche durch die Interaktion zwischen den magnetischen und elektrischen Feldern, so sich erhöhen

Wahrscheinlichkeit von den Elektronen, die Argongas schlagen, um Ionen zu erzeugen. Die erzeugten Ionen schlugen dann die Zieloberfläche

unter der Aktion des elektrischen Feldes und die Zielmaterialien zu deposite Dünnfilm auf der Substratoberfläche spritzen.

Die allgemeine Spritzenmethode kann für Vorbereitung von verschiedenen Metallen, die Halbleiter angewendet werden, ferromagnetisch

Materialien sowie Isolieroxide, Keramik und andere Substanzen. Die Ausrüstung verwendet PLC+-Note

Kontrollsystem der Platte HMI, das Parameter durch programmierbare Prozessschnittstelle eintragen kann, mit den Funktionen

wie spritzendes, mehrsprachiges aufeinander folgendes spritzendes und mit-spritzendes einziges Ziel.

 

Unsere Vorteile

Wir sind Hersteller.

Reifer Prozess.

Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.

 

Unsere ISO-Bescheinigung

Dielektrische Filme Optische Beschichtungsausrüstung PVD-Magnetron-Sputter-Abscheidungsmaschine 1

 

 

Teile unserer Patente

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Teile unserer Preise

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