Magnetron-Spritzenabsetzung in der Optik-Industrie
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materielle Art |
| Optik |
Optische Filme wie Antireflexionsfilm, |
SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| Schadstoffarmes Glas |
Mehrfache Schichten Metall (Silber, Kupfer, Zinn, etc.) |
|
| Transparentes Leitglas | ZnO: Al, usw. |
Funktions-Prinzip
Die Eigenschaften des Magnetrons spritzend sind hohe filmbildende Rate, niedrige Substrattemperatur, gute Filmadhäsion
und realisierbare Beschichtung des großen Gebiets. Diese Technologie kann in das DC-Magnetronspritzen und Rf-Magnetron unterteilt werden
Spritzen.
Eigenschaften
| Modell | MSC-O-X-X |
| Beschichtende Art | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallschicht-, Metalloxid und AIN |
| Beschichtende Temperaturspanne | Normale Temperatur zu 500℃ |
| Beschichtende Unterdruckkammergröße | 700mm*750mm*700mm (kundengerecht) |
| Hintergrundvakuum | < 5="">-7mbar |
| Anstrichschichtdicke | ≥ 10nm |
| Stärkeregelgenauigkeit | ≤ ±3% |
| Maximale beschichtende Größe | ≥ 100mm (kundengerecht) |
| Dickeneinheitlichkeit | ≤ ±0.5% |
| Substratfördermaschine | Mit planetarischem Rotationsmechanismus |
| Zielmaterial | Zoll 4×4 (kompatibel mit 4 Zoll und untengenannt) |
| Stromversorgung | Die Stromversorgung wie DC, Impuls, Rf, WENN und Neigung optional sind |
| Prozessgas | AR, N2, O2 |
| Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. | |
Beschichtende Probe
Prozessschritte
→ setzen das Substrat für das Beschichten in die Unterdruckkammer;
→ Vacuumize die Unterdruckkammer bei der Hochs und Tiefs-Temperatur und das Substrat synchron drehen;
→ fangen an zu beschichten: das Substrat wird mit Vorläufer in der Folge und ohne simultane Reaktion befragt;
→ bereinigen es mit Stickstoffgas von hohem Reinheitsgrad nach jeder Reaktion;
→ Halt, der das Substrat dreht, nachdem die Dicke bis Standard ist und die Operation des Bereinigens und des Abkühlens ist
abgeschlossen, dann nehmen Sie heraus das Substrat nach dem Vakuum, das Bedingungen bricht, werden getroffen.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
Teile unserer Preise und Qualifikationen von R&D
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
