Magnetron-Spritzenabsetzung auf dem dekorativen beschichtenden Gebiet
Anwendungen
Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materielle Art |
Dekorative Beschichtung | Farbiger Film, metallisierter Film | Al2O3, TiO2undalleArtenMetallfilme |
Funktions-Prinzip
Das Magnetron, das spritzt, ist, Spritzenrate zu erhöhen, indem es ein Magnetfeld auf der Zieloberfläche vorstellt und verwendet
das Magnetfeld, zum der geladenen Teilchen zu begrenzen, die Plasmadichte zu erhöhen.
Eigenschaften
Modell | MSC-DC-X-X |
Beschichtende Art | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallschicht-, Metalloxid und AIN |
Beschichtende Temperaturspanne | Normale Temperatur zu 500℃ |
Beschichtende Unterdruckkammergröße | 700mm*750mm*700mm (kundengerecht) |
Hintergrundvakuum | < 5="">-7mbar |
Anstrichschichtdicke | ≥ 10nm |
Stärkeregelgenauigkeit | ≤ ±3% |
Maximale beschichtende Größe | ≥ 100mm (kundengerecht) |
Dickeneinheitlichkeit | ≤ ±0.5% |
Substratfördermaschine | Mit planetarischem Rotationsmechanismus |
Zielmaterial | Zoll 4×4 (kompatibel mit 4 Zoll und untengenannt) |
Stromversorgung | Die Stromversorgung wie DC, Impuls, Rf, WENN und Neigung optional sind |
Prozessgas | AR, N2, O2 |
Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. |
Beschichtende Probe
Prozessschritte
→Place das Substrat für das Beschichten in die Unterdruckkammer;
→ vacuumize ungefähr;
→ drehen sich auf molekulare Pumpe, vacuumize mit Höchstgeschwindigkeit, dann drehen sich auf die Revolution und die Rotation;
→, welches die Unterdruckkammer erhitzt, bis die Temperatur das Ziel erreicht;
→ führen die konstante Temperaturüberwachung ein;
→ säubern Elemente;
→ rotieren und zurück zu dem Ursprung;
→ beschichtender Film entsprechend Prozessanforderungen;
→ senken Temperatur und stoppen die Pumpenversammlung, nachdem es beschichtet hat;
→ hören auf zu arbeiten, wenn die Selbsttätigkeit fertig ist.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
Teile unserer Preise und Qualifikationen von R&D