Magnetron-Spritzenabsetzung auf dem Anti-Verfärbung Beschichtungs-Gebiet
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materielle Art |
| Anti-Verfärbungsbeschichtung | Edelmetallantioxidierungsbeschichtung | Al2O3, TiO2 |
Funktions-Prinzip
Elektronen stoßen ununterbrochen mit Argonatomen im Bewegungsprozeß zusammen und ionisieren viele Argonionen zu
bombardieren Sie das Ziel. Nach mehrfachen Zusammenstößen verringert sich die Energie von Elektronen allmählich. Elektronen brechen weg
von der Beschränkung der magnetischen Kraftlinie, halten Sie weg von dem Ziel und schließlich Ablagerung auf dem Substrat.
Eigenschaften
| Modell | MSC-ADC-X-X |
| Beschichtende Art | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallschicht-, Metalloxid und AIN |
| Beschichtende Temperaturspanne | Normale Temperatur zu 500℃ |
| Beschichtende Unterdruckkammergröße | 700mm*750mm*700mm (kundengerecht) |
| Hintergrundvakuum | < 5="">-7mbar |
| Anstrichschichtdicke | ≥ 10nm |
| Stärkeregelgenauigkeit | ≤ ±3% |
| Maximale beschichtende Größe | ≥ 100mm (kundengerecht) |
| Dickeneinheitlichkeit | ≤ ±0.5% |
| Substratfördermaschine | Mit planetarischem Rotationsmechanismus |
| Zielmaterial | Zoll 4×4 (kompatibel mit 4 Zoll und untengenannt) |
| Stromversorgung | Die Stromversorgung wie DC, Impuls, Rf, WENN und Neigung optional sind |
| Prozessgas | AR, N2, O2 |
| Anmerkung: Kundengebundene Produktion verfügbar. | |
Beschichtende Probe
Prozessschritte
→ setzen das Substrat für das Beschichten in die Unterdruckkammer;
→ vacuumize ungefähr;
→ drehen sich auf molekulare Pumpe, vacuumize mit Höchstgeschwindigkeit, dann drehen sich auf die Revolution und die Rotation;
→, welches die Unterdruckkammer erhitzt, bis die Temperatur das Ziel erreicht;
→ führen die konstante Temperaturüberwachung ein;
→ säubern Elemente;
→ rotieren und zurück zu dem Ursprung;
→ beschichtender Film entsprechend Prozessanforderungen;
→ senken Temperatur und stoppen die Pumpenversammlung, nachdem es beschichtet hat;
→ hören auf zu arbeiten, wenn die Selbsttätigkeit fertig ist.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Bescheinigung
Teile unserer Patente
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Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
