Magnetron-Sputtering-Abscheidung in der Perowskit-Dünnschichtbatterieindustrie
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materialtyp |
| Perowskit-Dünnschichtbatterie | Transparente Leitschicht | ZnO:Al |
Arbeitsprinzip
Magnetron-Sputtern dient dazu, die Bewegungswege von Elektronen durch Magnetfelder einzuschränken und zu erweitern, die Bewegung zu ändern
Richtungen der Elektronen, erhöhen die Ionisationsrate des Arbeitsgases und nutzen effektiv die Energie der Elektronen.
Magnetron-Sputtern hat die folgenden Eigenschaften: schnelle Abscheidungsrate, hohe Abscheidungseffizienz, geeignet für
Großanwendung in der industriellen Produktion;niedrige Substrattemperatur, geeignet für die Beschichtung von Kunststoffen u
andere hitzebeständige Substrate;hohe Reinheit der hergestellten Filme, gute Kompaktheit, bessere Filmgleichmäßigkeit und stark
Film-Substrat-Kohäsion;Metall-, Legierungs-, Oxid- und andere Filme können hergestellt werden;schadstofffrei.
Merkmale
| Modell | MSC-PFB-X—X |
| Beschichtungstyp | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallfilm, Metalloxid und AIN |
| Beschichtungstemperaturbereich | Normaltemperatur bis 500℃ |
| Größe der Beschichtungsvakuumkammer | 700 mm * 750 mm * 700 mm (anpassbar) |
| Vakuum im Hintergrund | < 5×10-7Millibar |
| Schichtdicke | ≥ 10nm |
| Präzision der Dickenkontrolle |
≤ ±3 % |
| Maximale Beschichtungsgröße | ≥ 100 mm (anpassbar) |
| Gleichmäßigkeit der Filmdicke | ≤ ±0,5 % |
| Substratträger | Mit Planetendrehmechanismus |
| Zielmaterial | 4 × 4 Zoll (kompatibel mit 4 Zoll und darunter) |
| Stromversorgung | Die Stromversorgungen wie DC, Puls, RF, IF und Bias sind optional |
| Prozessgas |
Ar, N2, Ö2 |
| Hinweis: Kundenspezifische Produktion verfügbar. | |
Beschichtungsprobe
Prozessschritte
→ Legen Sie das zu beschichtende Substrat in die Vakuumkammer;
→ Grob saugen;
→ Molekularpumpe einschalten, mit Höchstgeschwindigkeit vakuumieren, dann Umdrehung und Rotation einschalten;
→ Erhitzen der Vakuumkammer, bis die Temperatur den Zielwert erreicht;
→ Implementieren Sie die konstante Temperaturregelung;
→ Elemente reinigen;
→ Drehen und zurück zum Ursprung;
→ Beschichtungsfolie nach Prozessanforderungen;
→ Senken Sie die Temperatur und stoppen Sie die Pumpenbaugruppe nach dem Beschichten;
→ Beenden Sie die Arbeit, wenn der automatische Betrieb beendet ist.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb von 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Zertifizierung
Teile unserer Patente
Teile unserer Auszeichnungen und Qualifikationen von F&E
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
