Magnetron-Sputtering-Abscheidung in der medizinischen Behandlungsindustrie
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materialtyp |
| Medizinische Behandlung | Biokompatible Materialien | Al2Ö3, TiO2 |
Arbeitsprinzip
Das Grundprinzip des Magnetron-Sputterns besteht darin, dass Elektronen beim Heranfliegen mit Argonatomen kollidieren
dasSubstrat unter der Einwirkung eines elektrischen Feldes, die erzeugten Argonionen bombardieren die Zieloberfläche.Nach der Energie
Austausch,die Atome auf der Zieloberfläche entkommen dem ursprünglichen Gitterund werden auf das Substrat übertragen
Oberfläche, um Filme zu bilden.
Merkmale
| Modell | MSC-MT-X—X |
| Beschichtungstyp | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallfilm, Metalloxid und AIN |
| Beschichtungstemperaturbereich | Normaltemperatur bis 500℃ |
| Vakuum beschichtenKammer Size | 700 mm * 750 mm * 700 mm (anpassbar) |
| Vakuum im Hintergrund | < 5×10-7Millibar |
| Schichtdicke | ≥ 10nm |
| Präzision der Dickenkontrolle | ≤ ±3 % |
| Maximale Beschichtungsgröße | ≥ 100 mm (anpassbar) |
| Gleichmäßigkeit der Filmdicke | ≤ ±0,5 % |
| Substratträger | Mit Planetendrehmechanismus |
| Zielmaterial | 4×4 Zoll (kompatibel mit 4 Zoll und darunter) |
| Stromversorgung | Die Stromversorgungen wie DC, Puls, RF, IF und Bias sind optional |
| Prozessgas | Ar, N2, Ö2 |
| Hinweis: Kundenspezifische Produktion verfügbar. | |
Beschichtungsprobe
Prozessschritte
→ Legen Sie das zu beschichtende Substrat in die Vakuumkammer;
→ Grob saugen;
→ Molekularpumpe einschalten, mit Höchstgeschwindigkeit vakuumieren, dann Umdrehung und Rotation einschalten;
→ Erhitzen der Vakuumkammer, bis die Temperatur den Zielwert erreicht;
→ Implementieren Sie die konstante Temperaturregelung;
→ Elemente reinigen;
→ Drehen und zurück zum Ursprung;
→ Beschichtungsfolie nach Prozessanforderungen;
→ Senken Sie die Temperatur und stoppen Sie die Pumpenbaugruppe nach dem Beschichten;
→ Beenden Sie die Arbeit, wenn der automatische Betrieb beendet ist;
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb von 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Zertifizierung
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