Magnetron-Sputtering-Abscheidung im Bereich Funktionsfilme
Anwendungen
| Anwendungen | Spezifischer Zweck | Materialtyp |
| Funktioneller Film | Superharter Film | TiN, TiC |
|
Lichtundurchlässiger Film |
Cr, AlSi, AlTi usw | |
| Widerstandsfilm | NiCrSi, CrSi, MoTa usw | |
| Supraleitender Film | YbaCuO, BiSrCaCuO | |
| Magnetfolie | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi usw |
Arbeitsprinzip
Es gibt viele Arten des Magnetron-Sputterns mit unterschiedlichen Arbeitsprinzipien und Anwendungsobjekten.Aber dort
ist eines gemeinsam: Es lässt die Elektronen durch Wechselwirkung zwischen ihnen auf spiralförmigen Bahnen in der Nähe der Targetoberfläche laufen
magnetische und elektrische Felder, wodurch die Wahrscheinlichkeit der Erzeugung von Ionen erhöht wird, die aus Elektronen entstehen, die auf Argon treffen.
Die erzeugten Ionen treffen dann unter der Wirkung eines elektrischen Feldes auf die Targetoberfläche und zerstäuben die Targetmaterialien.
Merkmale
| Modell | MSC-FF-X—X |
| Beschichtungstyp | Verschiedene dielektrische Filme wie Metallfilm, Metalloxid und AIN |
| Beschichtungstemperaturbereich | Normaltemperatur bis 500℃ |
| Größe der Beschichtungsvakuumkammer | 700 mm * 750 mm * 700 mm (anpassbar) |
| Vakuum im Hintergrund | < 5×10-7Millibar |
| Schichtdicke | ≥ 10nm |
| Präzision der Dickenkontrolle | ≤ ±3 % |
| Maximale Beschichtungsgröße | ≥ 100 mm (anpassbar) |
| Gleichmäßigkeit der Filmdicke | ≤ ±0,5 % |
| Substratträger | Mit Planetendrehmechanismus |
| Zielmaterial | 4 × 4 Zoll (kompatibel mit 4 Zoll und darunter) |
| Stromversorgung | Die Stromversorgungen wie DC, Puls, RF, IF und Bias sind optional |
| Prozessgas | Ar, N2, Ö2 |
| Hinweis: Kundenspezifische Produktion verfügbar. | |
Beschichtungsprobe
Prozessschritte
→ Legen Sie das zu beschichtende Substrat in die Vakuumkammer;
→ Grob saugen;
→ Molekularpumpe einschalten, vakuumierenbei Höchstgeschwindigkeit, dann schalten Sie die Umdrehung und Rotation ein;
→ Aufheizen der Vakuumkammer bis die Temperatur erreicht istZiel;
→ Implementieren Sie die konstante Temperaturregelung;
→ Elemente reinigen;
→ Drehen und zurück zum Ursprung;
→ Beschichtungsfolie nach Prozessanforderungen;
→ Senken Sie die Temperatur und stoppen Sie die Pumpenbaugruppe nach dem Beschichten;
→ Aufhören zu arbeiten, wennder Automatikbetrieb ist beendet.
Unsere Vorteile
Wir sind Hersteller.
Reifer Prozess.
Antwort innerhalb von 24 Arbeitsstunden.
Unsere ISO-Zertifizierung
Teile unserer Patente
Teile unserer Auszeichnungen und Qualifikationen von F&E
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